玻璃晶圆:
本公司引进先进的激光仪器、超声波仪器、雕刻和磨削机器等先进设备,同时拥有资深级的技术人员,能为客户提供厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度玻璃晶圆(Glass wafer),应用于CMOS、CCD传感器、集成电路或微机械元件封装(MEMS)、通信与数据处理、光学、电子产品、家电产品、军工、科研等高科技产品。
产品特点:
1.超薄玻璃晶圆
2.特种玻璃材料应用
3.独具一格的表面质量
4.优越的透光性、极低的荧光强度以及极高的紫外线和红外线透过率
5.极低的膨胀系数、抗热冲击性强以及长期工作温度高达450℃
6.极佳的化学稳定性,对水、强酸、强碱以及有机物质的腐蚀有高度耐受性
7.极佳的抗刮花效果、极高的硬度以及密度可比普通钠钙玻璃低20%
8.极低的含碱量可作为一种优良的电绝缘体
9.符合所有要求和工业标准(例如SEMI)的客户指定产品
10.符合ISO 9001:2000所有要求的一体化生产步骤
典型应用:
- 微光学
- MEMS(压力传感器、加速计…)
- 晶片级封装(图像传感器封装…)
- 生物工程(微观流体、DNA分析…)
- PLC晶圆盖板
- 以及许多其它客户指定应用
玻璃晶圆加技术参数:
a)材料:BOROFLOAT®33、PYREX7740、石英玻璃、康宁E-XG、B270、D262T、AF32
b)标准厚度:0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.5mm(厚度公差±0.02mm)
c)标准尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定制)
d)外观:60/40
e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm
f)平行度<0.01mm
g)各棱边倒钝C0.05~0.2mm
h)裂口<0.2mm,不可内裂
i)表面清洁,不得有印记和污点,在洁净工作台下包装,用专用盒子包装。
技术参数: | |
密度(25℃) |
2.23g/cm2 |
膨胀系数(ISO 7991) |
3.25´10-6k-1 |
透光率 |
91% |
软化点 |
820℃ |
短期使用<10h |
550℃ |
长期使用≧10h |
450℃ |
折射率(587.6nm) |
1.47140 |
努氏硬度 |
480 |